淮北翌光取得干法刻蚀装置专利提高刻蚀均匀性
国家知识产权局信息显示，淮北翌光科技有限公司取得一项名为“一种干法刻蚀装置”的专利，授权公告号CN223798645U，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本实用新型实施例公开了一种干法刻蚀装置，包括：腔体；气体喷嘴组，位于腔体的内部顶面，用于向反应腔内通入气体；第一电极和第二电极，分别位于腔体的顶部和底部；第一电极和第二电极用于将通入的气体等离子化并产生等离子体；其中，气体喷嘴组包括主喷嘴和围绕主喷嘴设置的至少一圈的副喷嘴；主喷嘴位于腔体的内部顶面的中心区域，副喷嘴位于腔体的内部顶面的边缘区域；主喷嘴的喷气方向为腔体的内部顶面指向腔体的内部底面的方向，副喷嘴的喷气方向与主喷嘴的喷气方向的夹角大于0°且小于等于90°。本实用新型提供的技术方案，提高了对待刻蚀结构的中心区域和边缘区域刻蚀的均匀性。
天眼查资料显示，淮北翌光科技有限公司，成立于2022年，位于淮北市，是一家以从事化学纤维制造业为主的企业。企业注册资本43000万人民币。通过天眼查大数据分析，淮北翌光科技有限公司参与招投标项目36次，专利信息74条，此外企业还拥有行政许可14个。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
男子遭遇车祸重度昏迷 同行朋友趁机取走其身上金项链金手链 法院：盗窃罪 获刑八个月
大心脏！郑钦文苦战119分钟后2-1逆转，轰20记ACE打崩大满贯冠军
推出“黑命贵”DLC后，《我的世界》被骂“洗脑儿童”/
主站 商城 论坛 自运营 登录 注册 推出“黑命贵”DLC后，《我的世界》被骂“洗脑儿童” ...
《遗忘之海》试玩报告：应有尽有一锅烩/
主站 商城 论坛 自运营 登录 注册 《遗忘之海》试玩报告：应有尽有一锅烩 廉颇 2026-02-09 返回...
《Warframe》中国玩家线年如一日/
主站 商城 论坛 自运营 登录 注册 《Warframe》中国玩家线年如一...
